🏭 機台是怎麼進到無塵室的？
第一次參與機台 Move-in 的設備工程師，常常對這流程充滿好奇。今天就帶大家看看，半導體機台從國外一路進到無塵室內，到底要經過哪些步驟。
1️⃣ 從國外啟程
台灣的晶圓廠，大部分機台都是向 AMAT / LAM / ASML / KLA 等國際設備大廠購買。
由於生產地多數在海外，機台會經由 空運 或 海運 抵達台灣，再由大型貨車送至晶圓廠的碼頭（Dock）。
2️⃣ 碼頭卸貨檢查
協力廠商會使用 大型推高機 將機台木箱卸下。
木箱外通常貼有 潮濕指示標籤 與 碰撞衝擊指示器，若標籤變色，代表運輸過程可能受潮或劇烈碰撞，需要立即檢查。這是確保機台在長途運輸中保持完好的一道關卡。
3️⃣ 進入 Buffer Room（緩衝室）
拆除外部木箱後，機台會經由大型貨梯進入 Buffer Room。
Buffer Room：無塵室與外部之間的「中繼站」。
主要用途是在進入無塵室前，先拆除包裝、處理可能的塵源。
這裡會進行：
- 拆除塑膠膜、緩衝材等外包裝
- 對隨附的小箱物料進行分類與整理
- 藉由無塵室的正壓氣流往 Buffer Room 吹，防止灰塵逆流進入無塵室
4️⃣ 鋪路送機台到定位
在機台到達前，工程團隊就會：
- 放樣 → 確定機台的最終安裝位置
- 規劃路線 → 避開障礙物、確保通道寬度足夠
- 鋪設鐵板 → 保護地板並讓氣墊車滑行更順暢
機台會由協力廠商使用 氣墊車 從 Buffer Room 運送到指定位置完成定位。
📌 小結
半導體機台的 Move-in，看似只是「搬運」，實際上是一連串精密且標準化的流程。從跨國運輸、防潮防撞檢查、無塵室潔淨控管，到精準定位，每一步都影響後續的安裝與產能。
