半導體綠色製程新契機! 鉅為擴展「尾氣處理」業務 觸媒「化學吸附」拚淨零碳排 強化關鍵技術自主

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隨著全球半導體產業邁向綠色轉型,廢氣處理技術已成為企業ESG發展的關鍵指標!鉅為深耕科技業空氣品質服務,最新宣布跨足工業尾氣處理領域,推出觸媒「化學吸附」技術,專攻砷、磷、硼、全氟化物與氮氧化物等氣體,期盼強化國內相關供應鏈自主能力。尤其透過化學吸附的處理方式,不會再二次產生氮氧化物(NOx),為淨零碳排與碳費壓力提供最優解方。

圖說:鉅為深耕科技業空氣品質服務,最新跨足工業尾氣處理領域,推出觸媒「化學吸附」技術。(資料來源:鉅為)

圖說:鉅為深耕科技業空氣品質服務,最新跨足工業尾氣處理領域,推出觸媒「化學吸附」技術。(資料來源:鉅為)

晶圓廠半導體製程中,包括廠務端、設備端、印刷電路板(PCB)與CoWoS封裝,在進行蝕刻或光阻去除等工序時,往往需仰賴全氟化物(如四氟化碳CF₄、三氟甲烷CHF₃、八氟環丁烷C₄F₈、六氟化硫SF₆)等特殊氣體。而這類氣體的最大隱憂,在於化學鍵極為穩定,幾乎無法自然分解,進而引發強烈溫室效應。其中六氟化硫(SF₆)有極高的全球暖化潛勢值(GWP),根據聯合國政府間氣候變遷專門委員會(IPCC)第六次評估報告(AR6)為二氧化碳的2萬4300倍,名列已知最強的溫室氣體之一。若換算成二氧化碳當量(CO2e),對氣候衝擊遠遠超過一般碳排,成為半導體產業亟需控管的關鍵指標。

現階段業界多半採用高溫燃燒,搭配濕式洗滌方式來處理此種特殊氣體,運作溫度動輒飆破攝氏千度。鉅為總經理簡臨君指出,一旦反應溫度超過600度,尾氣內若含氮與氧,便容易結合成氮氧化物,進而引發二次汙染,加上傳統設備運轉過程,需消耗大量天然氣與冷卻水,營運成本不只相當燒錢,更難以應對歐盟碳邊境調整機制(CBAM),以及台灣5月即將開徵的碳費挑戰。

圖說:天然氣受到地緣政治因素影響,價格易受波動,工業尾氣處理亟需更具經濟效益的綠色解方。(資料來源:鉅為)

圖說:天然氣受到地緣政治因素影響,價格易受波動,工業尾氣處理亟需更具經濟效益的綠色解方。(資料來源:鉅為)

「我們將反應溫度精準控制在400至450度之間,從源頭斷開氮氧化物產生的因果關係。」鉅為總經理簡臨君解釋,化學吸附的技術核心,在於超過百種的專利吸附劑配方,化學吸附透過觸媒反應將毒性分解,不只能處理劇毒砷、磷氣體,吸附濾桶更具備長達3.5至4年的超長壽命,大幅減少更換支出,整體處理成本也比傳統方式,減少約10%至15%,粗估每年至少可省下數千萬元的相關費用。

圖說:化學吸附透過觸媒反應將毒性分解,不只能處理劇毒砷、磷氣體,吸附濾桶更具備長達3.5至4年的超長壽命。(資料來源:鉅為)

圖說:化學吸附透過觸媒反應將毒性分解,不只能處理劇毒砷、磷氣體,吸附濾桶更具備長達3.5至4年的超長壽命。(資料來源:鉅為)

化學吸附技術除了適用於半導體業,包含印刷電路板(PCB)產業、火力發電廠甚至焚化爐,皆能透過這套「綠色過濾」方案,提升氮氧化物處理效率至98%以上,設備相關數據亦經過工研院等單位嚴格驗證。隨著淨零碳排與綠色永續成為趨勢,透過導入化學吸附技術,妥善處理工業廠房廢氣,不只能一勞永逸解決環保合規問題,更可助攻企業在碳權交易市場取得先機,實現環境保護與經濟效益的雙贏局面。

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